柔性活塞桿氣缸在三坐標測量機上的應用：

　　用作三坐標測量機的Z軸。三坐標測量機是集機械、電子、光學、軟件等先進技術為一體的先進測量儀器，它能對復雜零件的幾何尺寸形位公差(尤其是曲線曲面)進行高精度、高速度的測量，能與加工中心聯機。三坐標測量機有三條坐標軸，即X、Y、Z軸。為了降低阻力，確保測量過程中的平穩性和精確度，X、Y軸可采用導軌或氣浮形式。而Z軸剛性較差，且又需安裝測量頭，因此不宜采用與X、Y 軸相同的方法，而是采用重錘平衡方式。但這樣增加了它在X、Y 軸方向上的運動慣量。由于運動阻力大、成本高、結構較復雜，這種方式目前已被平衡氣缸所取代。平衡氣缸的特征是低摩擦、甚至無阻力。當氣缸上腔通入某一個壓力后，可抵消缸筒及測量頭的重力，讓測量頭在上下加速測量位移時不受重力影響。為了減小測量頭(包括缸筒部件)與活塞桿在Z軸直線方向的誤差，大多數三坐標測量機制造廠商在安裝平衡氣缸時采用平面軸承等方法連接活塞桿頂端，使其在X、Y軸方向自由浮動，但是這種方法在高速測量時將造成測量機振動而降低精度。為了實現測量頭在Z軸方向上下運行時的自動調節，我們需要設計一種柔性活塞桿氣缸。活塞桿由二段不同材質的部件組成：上半段采用金屬材料制成的活塞桿，它有外螺紋與機架固定;下半段活塞桿采用塑料PFAN，確保活塞桿有足夠的柔性，使得柔性活塞桿在Z軸運動時的偏差與缸筒和測量頭無關。